華大半導(dǎo)體旗下中電化合物8吋SiC外延片首批產(chǎn)品交付
10月31日,華大半導(dǎo)體旗下中電化合物順利完成客戶首批次8吋SiC外延片產(chǎn)品的交付。此次交付標(biāo)志著企業(yè)的外延產(chǎn)品邁上一個(gè)新的臺(tái)階,為行業(yè)提供更為領(lǐng)先的技術(shù)支持,推動(dòng)碳化硅行業(yè)更加快速發(fā)展。
8吋相比6吋面積增加78%,可較大幅度降低碳化硅器件成本,為進(jìn)一步推進(jìn)碳化硅材料的降本增效提供有力支持。技術(shù)指標(biāo)上,8吋SiC外延片厚度均勻性可實(shí)現(xiàn)≤3%、摻雜濃度均勻性≤5%、表面致命缺陷≤0.5/cm²。
中電化合物自2019年11月1日成立以來,歷時(shí)四年,不斷實(shí)現(xiàn)從0到1的突破,自主研發(fā)、生產(chǎn)的6吋碳化硅晶錠、襯底片和外延片早已實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)。